以技術創新笑傲全球

二○○二年，在比利時舉辦的一場討論一五七奈米技術的國際光電研討會上，台積電微製像技術發展處資深處長林本堅一邊聽著台上演講，手邊還一邊計算著光波透過水的折射率，當輪到他上台發表時，「我找到一三四奈米波長的光波了，」當場驚動了台下一千多位與會者。
當時，全球半導體業花下幾十億美元，希望讓光波一九三奈米突破到一五七奈米，林本堅的一席話，等於宣告全球半導體業幾年來的研發困境即將突破，直接邁向下一世代。該年，美國《新聞週刊》還特別以「浸在水裡的晶片」為題，專文報導這項即將改寫半導體產業歷史的重要成就。
今年三月，名聲轟動全球半導體業界的林本堅，再次展現研發創新功力，讓在競爭愈趨激烈的晶圓代工領域，台積電仍能老神在在面對未來，因為林本堅提供了台積電邁往下一世代晶圓製造的獨門武器—一四五奈米量產製程所需的「浸潤式微顯影技術」。
擁有這項技術，意味著未來五年，台積電有能力量產更微小的晶片，更代表著台灣企業首次擁有全球晶圓製程規格的主導權。
一片晶圓的製作過程，總共需要三、四百道手續，然而，其中負責在晶圓片上顯影電路的曝光顯影機，卻是晶圓廠能否製造出面積更小、密度更高的積體電路晶片元件的核心關鍵。
在這個猶如超大型照相機的上億元設備中，林本堅的「浸潤式微顯影」技術，將曝光機台的鏡頭與晶圓片間加入水做為介質，讓光源折射呈現更高解析度的光源。「晶圓廠如果想要做出小於四五奈米的元件，就一定要用我們這個技術，」林本堅驕傲地指出。
從小好奇心強，喜歡嘗試各式各樣的新事物。自從中學從母親手上拿到一台六×九相機，不僅開啟他對光學顯像的興趣，至今仍常背著相機四處拍照。去年聖誕節，林本堅還拿了相機拍下竹科的聖誕燈景，照片還用e-mail傳給同事分享。
「我最近比較喜歡拍人像，覺得人身上有很多東西可以捕捉，」林本堅笑著說。
同時，這位台灣人在全球半導體界的驕傲，還能拉得一手精湛的小提琴，而他也是一個運動能將，年輕時愛打羽毛球、桌球，四十歲後又愛上網球。
在網球與晶圓間，林本堅有了鮮活有趣的對應。晶圓的大小原本比網球小很多，林本堅第一次接觸晶圓，當時的一吋晶圓只有十元硬幣的大小，直到三吋晶圓時代，才比網球來得大。他所珍藏的一把Wilson古董木把球拍，剛好相當於八吋晶圓的大小，而他現在使用的球拍拍面大小，則和十二吋晶圓差不多。
甚至，球拍上的網線格子也與晶圓上的格子相似。「你看！一根網球上的絨毛的剖面可以放進3200個六五奈米製程電晶體，如果是用45奈米製程更可以擺上6000個！」林本堅鮮活地描述，讓我們更了解半導體技術，也發現在台積電，研發人的創新，就像他們的呼吸一樣。（蔡耀駿）