因為半導體製程需要用到巨量的水，偏偏台灣又是缺水國家。
如何省水，保持用水穩定，對半導體業者來說，不僅是做環保，更攸關競爭力。
世界先進為省水訂下短、中、長程目標，以具體量化數據做績效管理，實踐「三R」: Reduce（減量）、Recycle（回收）、Reuse（再利用）。
省水策略又可分為開源、節流兩個面向。在開源方面，從耗水量最大的製程用水著手，將水資源，做極大化的運用。
首先，建立每月詳細用水紀錄，再比較分析，收集可回收的製程水，處理過後再利用。
根據世界先進的定期追蹤績效指標，目前各晶圓廠製程水回收率可達八五％以上，不但符合新竹科學園區製程用水的回收標準，且回收比率逐年上升。此外，公司也在廠區設置了雨水截流收集系統，用來替代部份自來水使用。
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