但如何做才會有效？來自荷蘭的全球晶片微影設備廠艾司摩爾（ASML），為節能減碳制定「路徑圖」。
二〇〇三年在台灣成立分公司的艾司摩爾，為就近服務台積電等台灣半導體客戶，〇七年在桃園成立全球技術支援及研發中心。
包括台灣在內，艾司摩爾全球各生產據點，都要制定「永續路徑圖」（Sustainability Roadmap），針對水、能源、廢棄物三個項目，每五年訂出中、短、長期目標。
在每個五年計劃中，每年、每季，都訂出要執行的項目、要達成的量化目標、目標達成進度的追蹤，以及每個計劃的投資金額與回收時間。
以節電為例，一二年，艾司摩爾推出「冰水主機廢熱回收」專案，把降低廠房內無塵室溫度的冰水主機，改用熱回收式冰水主機。
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