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事情的開端是1月28日,除夕前一星期。
當天上午,台積電企業訊息處資深處長孫又文收到幾個線上記者傳來的簡訊,查證台積台南14B廠產線受到污染的消息。
因為14A廠正好幾天前發生過鐵離子汙染,但僅波及幾百片。她便回覆記者「小事,已經解決了」,而且出事的是14A不是14B。
然而到了當天中午,一位營運副總告訴她,14B的光阻液出了「大條問題」。她才警覺之前的答覆不恰當,馬上再告訴線上記者光阻液的狀況。
光阻液是晶圓製造中的微影成像步驟的關鍵化學品。晶圓製程中光阻劑被塗在晶圓後,接續的曝光顯影、蝕刻等步驟都和光阻劑有關,因此光阻液的使用是影響製程良率的關鍵之一。
營收12年最慘烈的單季萎縮
各大報和網媒立刻迅速發了10多則網路新聞。繼電腦病毒事件之後,「台積電二度出包」的消息,也從此一發不可收拾。(延伸閱讀:每個工廠都在害怕!台積電電腦中毒背後真正的原因......)
天下總主筆陳良榕專欄。半導體狂熱、科技巨頭謀略的最犀利解讀
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