漢民微測科技　慘賠十二年變股王

九○年代，他任職全球第四大半導體設備公司——美商科磊，負責研發前瞻性的電子束檢測技術。

半導體愈做愈小，抓瑕疵的光學檢測設備，終究會碰到物理瓶頸。電子束檢測能突破這個瓶頸，應用在二十奈米以下的製程。

可惜，當時是四十五、三十二奈米製程的世代。科磊無心投入取代自家光學產品的技術。

招允佳卻預見到十五年之後，必然發生問題。於是，決定自己闖天下。

從物理瓶頸見商機

他號召了兩位同事共同創業。一位是成功大學機械系畢業，擅長機構設計的潘中石。另一位是大陸人，北京清華大學電機系的陳仲瑋，掌握電子槍的關鍵技術。招允佳擅長的是圖形處理，三人的學藝剛好互補。

第四位創辦人黃民奇，是國內歷史最久、規模最大的半導體設備代理商，漢民科技的創辦人兼董事長。

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黃民奇早就想自己做設備。招允佳帶頂尖科技上門，簡直是天賜的禮物。漢微科的高層回顧這段歷史，仍舊感激不盡，「創投公司三年賺不到錢，就會收手。但是，漢民（科技）是無條件地支持我們，十年磨一劍。」

一九九八年，漢微科的前身在美國矽谷誕生。五年後，做出第一台「電子束缺陷檢測設備」，回新竹設立總部。漢微科正式成立。

招允佳的創業決心受到充分的考驗。因為，從九八年算起，漢微科整整賠了十二年的錢。

招允佳沒放棄，因為，他看清楚趨勢，「設備端的建置，必定走在半導體廠量產之前。而半導體廠，又一定比終端產品和零組件優先出貨。」電腦的計算功能愈來愈強，都是因為設備商提早開始衝刺。

漢微科的新竹總部，負責八成的零組件製造，和部份研發。北京分公司生產電子槍，由陳仲瑋坐鎮。招允佳則長年往返矽谷，領導主要的研發團隊。

三倍研發經費

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儘管賠錢，漢微科每年投資一五％到一七％的營收，做研發，是一般公司的三倍。每三位員工，就有一位是研究員。

相較歷史悠久的國際設備公司，漢微科唯一的優勢，就是搶先投資新技術。招允佳知道，要抓緊這一點，公司才有希望。

接觸客戶也是很大的挑戰。半導體大廠不輕易改變設備。漢微科花長達五年的時間，讓客戶做測試，直到他們放心。

成長過程非常艱辛。漢微科為了打銷累虧，曾在○八年進行減資，將七．八億元的資本額，降到只剩一．三億元。日後再增資，讓公司有力氣撐下去。

俗話說得好：撐過去，就是你的。半導體製程終於抵達二十奈米階段。漢微科於一○年轉虧為盈，一二年上櫃。

三百項專利 市場年漲兩成

去年，全球出貨的半導體檢測設備，仍有九四％是光學設備。但是，電子束設備的市佔率疾速成長，預計在未來三年，超過一○％。

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漢微科的檢測技術，已經到三奈米的境界，領先全球。招允佳用六十多項專利鞏固優勢。提案和申請中的專利，還有三百多項。就連老東家科磊，都很難爭奪這個規模六十億元的藍海市場。

電子束檢測也不是毫無缺點。光學檢測速度，仍然快二十倍。未來漢微科必須提升檢測速度、尋找新的應用面，才能持續當贏家。